반도체 세정 신기술 개발

반도체의 불순물을 제거하는 세정공정에서 물 대신 이산화탄소를 사용하는 신기술이 세계 최초로 모교 화공생명공학과 유기풍 교수의 산학연구팀에 의해 개발되었다.

이 '건식 세정기술' 은 기존의 습식 세정기술에 비해 세정력이 좋으며, 60% 이상 에너지를 절감하고 연간 1천380억원을 절약할 수 있다. 

유 교수 팀은 이번 기술과 관련해 이미 국내특허 2편, 미국특허 2편을 제출한 상태이며 국내외 반도체 장비 회사들과 상업화를 협의하고 있다.